ในช่วงต้นปี 1738 นักวิทยาศาสตร์ชาวสวิส Daniel Bernoulli วัดการไหลของน้ำโดยใช้วิธีความดันแตกต่างตามสมการเบอร์นูลลีข้อแรก ต่อมา GB Venturi นักวิทยาศาสตร์ชาวอิตาลีได้ศึกษาการใช้ท่อ Venturi เพื่อวัดการไหล และเผยแพร่ผลงานของเขาในปี 1791
ในปี พ.ศ. 2429 American Herschel ได้พัฒนาท่อ Venturi ให้เป็นอุปกรณ์ตรวจวัดการไหลของน้ำที่ใช้งานได้จริง
ตั้งแต่ต้นถึงกลางศตวรรษที่ 20 หลักการวัดผลแบบเดิมค่อยๆ เติบโต และผู้คนไม่ได้จำกัดการคิดไว้ที่วิธีการที่มีอยู่อีกต่อไป แต่ได้เริ่มการสำรวจใหม่ๆ
ในช่วงทศวรรษที่ 1930 วิธีการวัดความเร็วการไหลของของเหลวและก๊าซโดยใช้คลื่นเสียงเกิดขึ้น ในขณะที่มีการสำรวจวิธีการวัดการไหลโดยใช้คลื่นเสียง แต่ก็ยังไม่มีความก้าวหน้าอย่างมีนัยสำคัญจนกระทั่งสงครามโลกครั้งที่สอง จนกระทั่งถึงปี 1955 จึงมีการนำเครื่องวัดอัตราการไหลของ Maxson ซึ่งใช้วิธีการหมุนเวียนเสียงมาใช้ในการวัดอัตราการไหลของเชื้อเพลิงการบิน
ตั้งแต่ทศวรรษ 1960 เป็นต้นมา เครื่องมือวัดเริ่มพัฒนาไปสู่ความแม่นยำและการย่อขนาด
ด้วยการพัฒนาอย่างรวดเร็วของเทคโนโลยีวงจรรวม เครื่องวัดการไหลแบบอัลตราโซนิกพร้อมเทคโนโลยีลูป{0}}ล็อกจึงถูกนำมาใช้กันอย่างแพร่หลาย การประยุกต์ใช้ไมโครคอมพิวเตอร์อย่างแพร่หลายได้ปรับปรุงความสามารถในการวัดการไหลให้ดียิ่งขึ้น ตัวอย่างเช่น เครื่องวัดความเร็วของเลเซอร์ดอปเปลอร์สามารถประมวลผลสัญญาณที่ซับซ้อนมากขึ้นได้หลังจากติดตั้งไมโครคอมพิวเตอร์